S00600 - SEMI S6 - 半導体製造装置の排気換気に関する環境，健康，安全のためのガイドライン StdPbc-0312 3 A prerequisite for specifying

3  A prerequisite for specifying tighter tolerances on edge profiles is an agreement about the names of the relevant characteristics used for describing edge profiles and a method for extracting these characteristics from a measured edge profile

optical housings) by means of an ARS

SEMI G19-0997 (technical revision)

SEMI E80-0299 (Reapproved 0710)

本文書は，半導体製造装置サプライヤが，装置排気換気システムを一般的な一連の性能基準に基づいて設計するのを支援するとともに，ユーザやサプライヤが装置システムに対する排気換気要件を理解する手助けとなることを意図している。設計仕様を確立することは意図していない。

S00600 - SEMI S6 - 半導体製造装置の排気換気に関する環境，健康，安全のためのガイドライン StdPbc-0312 3 A prerequisite for specifyingNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI SME 8 Referenced SEMI Standards (purchase separately) SEMI F5 Guide for Gaseous Effluent Handling SEMI S2 Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment SEMI S14 Safety Guidelines for Fire Risk