P00300 - SEMI P3 - レジスト付きクロムブランク StdPbc-1011 Extensions to SEMI E10 described

Extensions to SEMI E10 described in this document apply to decisions made by automated equipment only

previously published July 2003

XMLメッセージ通信に関する仕様は同期または非同期の形態で交わされるメッセージに必要なメッセージヘッダの定義を示す。新たなメッセージが許可される前にメッセージの消費と実行をアプリケーションが要求する場合，同期メッセージ配信が選択される。非同期メッセージは対応するメッセージの相関を維持する伝達技術に依存することなく独立に届けられるものである。非同期のメッセージ通信機構を選択する根拠は2個のソフトウエアシステム間のやり取りの特徴に起因する。次のとおり理由を挙げてみる。

SEMI MF533-0310 (technical revision)

It is recommended to use only high purity accelerator

P00300 - SEMI P3 - レジスト付きクロムブランク StdPbc-1011 Extensions to SEMI E10 describedNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI global Micropatterning Committee2008118global Audits and Reviews Subcommittee20082www. semi. org1998 NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met.